MEMS工艺技术路线并非单一、固定的流程，而是一个庞大的技术体系，其核心思想源于并极大地借鉴了半导体集成电路（IC）工艺，这使得MEMS器件可以像芯片一样进行大规模、低成本的生产，我们可以从以下几个维度来理解MEMS的技术路线：核心思想：...
