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  • 目前主流SOI技术有哪些?

    目前主流SOI技术有哪些?

    SOI技术的核心思想是在硅晶圆和顶层硅器件之间引入一层绝缘层(通常是二氧化硅,SiO₂),这个“硅-绝缘层-硅”的三明治结构,从根本上改变了传统体硅器件的特性,带来了诸多优势,SOI技术主要分为两大主流路线,并在此基础上衍生出不同的实现方法...

    2025-12-18
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