声学器件与MEMS技术的结合是近年来微电子领域的重要突破,通过微机电系统（MEMS）的微纳加工工艺，传统声学器件实现了微型化、集成化和智能化的跨越，MEMS声学器件以硅基材料为基础，结合薄膜工艺、光刻技术和蚀刻工艺，将麦克风、扬声器、传感器...
