MEMS技术作为微机电系统的核心,通过将微型机械结构与电子电路集成在芯片上，实现了传感器、执行器等微型化器件的批量制造，其应用已从消费电子扩展至汽车、医疗、工业等多个领域，而软件系统作为MEMS技术的“大脑”，在器件设计、仿真、制造、测试及...
