在半导体制造领域中,SADP技术（Self-AlignedDoublePatterning，自对准双重patterning技术）是一种关键的工艺技术，主要用于实现更小的特征尺寸，满足摩尔定律延伸的需求，随着芯片制造工艺节点推进到7n...
