等离子体气相沉积技术作为一种先进的薄膜制备方法，在半导体、光学、新能源、航空航天等领域发挥着不可替代的作用，该技术通过等离子体激活反应气体，在基底表面发生化学反应或物理沉积，形成具有特定性能的薄膜层，随着全球对高端制造需求的持续增长，等离子...
