MEMS器件生产技术是一门融合了微电子、机械、材料、化学等多学科知识的综合性技术，其核心目标是利用半导体工艺和微加工手段，在微米甚至纳米尺度上制造出集传感、执行、信号处理等功能于一体的微型化系统，MEMS器件的生产技术复杂且精密，涉及多个关...
