MEMS技术传感器是微机电系统的缩写,它将微型机械结构与电子电路集成在同一块芯片上，通过微纳加工技术制造而成，这种技术的出现彻底改变了传感器行业，使得传感器朝着微型化、智能化、低成本和低功耗的方向发展，MEMS传感器广泛应用于消费电子、汽车...
