Adixen 是全球真空技术领域,特别是半导体、工业和科学应用中一个非常知名且备受推崇的品牌,它以其高性能、高可靠性和卓越的技术而闻名。

以下是关于 Adixen 品牌的详细介绍:
品牌概况
- 品牌名称: Adixen (中文常译为:艾迪生)
- 所属公司: PVA TePla Group,Adixen 是德国 PVA TePla 集团旗下的核心品牌之一,该集团专注于为高科技行业提供真空和热处理解决方案。
- 市场定位: 高端、专业,Adixen 主要服务于对真空度、洁净度、稳定性和可靠性有极高要求的行业,是真空技术领域的“专家级”品牌。
- 核心优势: 专注于干式真空技术,提供无油、洁净的真空环境,这对于半导体制造、薄膜沉积等工艺至关重要。
主要产品线
Adixen 提供了非常广泛和全面的真空产品线,以满足不同应用的需求,其产品主要分为以下几大类:
干式真空泵
这是 Adixen 最核心、最著名的产品线,也是其在半导体行业的立身之本,干式泵意味着泵腔内没有油或其他密封液体,因此可以提供无油、无污染的真空环境。
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螺杆干式泵:
(图片来源网络,侵删)- 特点: 通过两个相互啮合的螺杆转子来压缩和排出气体,运行平稳,抽速范围广,能处理大量气体和轻微粉尘。
- 应用: 半导体刻蚀、CVD、薄膜沉积、太阳能电池制造、科研等。
- 代表系列: ACP (Adixen Claw Pump - 爪式泵, 已逐渐被螺杆泵替代)、ASP (Adixen Screw Pump - 螺杆泵)。
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爪式干式泵:
- 特点: 结构紧凑,运行安静,维护简单,对颗粒物不敏感。
- 应用: 实验室、分析仪器、中小型工业过程。
- 代表系列: ACP 系列。
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涡旋干式泵:
- 特点: 极高的清洁度,无脉动,抽速平稳,非常适合需要超高洁净度的场合。
- 应用: 半导体晶圆制造、分析仪器、医疗设备。
油润滑旋片式真空泵
这是 Adixen 另一个重要的产品线,主要用于需要中等真空度且对油污染不敏感的工业应用。
- 特点: 技术成熟,性价比高,抽气能力强,可达到较高的真空度。
- 应用: 工业真空包装、干燥、浸渍、实验室真空过滤等。
- 代表系列: 如 ECO 系列等。
扩散泵
这是一种高真空泵,通常需要前级泵(如旋片泵)配合使用。

- 特点: 可以获得非常高的极限真空度(通常在 10⁻⁷ mbar 量级)。
- 应用: 大型科研设备、分析仪器(如质谱仪)、材料表面处理等。
真空系统与解决方案
Adixen 不仅仅是提供单个泵,更能根据客户的具体工艺需求,提供定制化的真空系统解决方案,这包括:
- 泵组的组合与集成
- 阀门、真空计、冷阱等配套组件
- 完整的管路设计和控制系统
核心优势与技术特点
- 无油洁净技术: 这是 Adixen 的最大王牌,其干式泵系列能提供无油污染的真空环境,是半导体、光学镀膜等高端制造工艺的必备设备。
- 卓越的可靠性: Adixen 泵的设计和制造工艺都非常考究,材料选用精良,确保了设备在长时间、高负荷运行下的稳定性和耐用性,大大减少了客户的停机维护时间。
- 高真空度: 无论是干式泵还是扩散泵,Adixen 都能提供行业领先的真空性能,满足严苛的工艺要求。
- 广泛的兼容性: Adixen 的产品可以轻松与其他品牌的真空设备集成,并支持各种工业通信协议(如 Modbus),方便客户整合到自动化生产线中。
- 专业服务与支持: 作为高端品牌,Adixen 提供全球性的技术支持、培训和售后服务网络,确保客户能够获得专业的指导和及时的维护。
主要应用领域
Adixen 泵被广泛应用于全球顶尖的科技制造和研究领域:
- 半导体与电子工业: 这是 Adixen 的核心市场,用于晶圆制造过程中的刻蚀、薄膜沉积、离子注入、CVD/PVD 等关键工艺。
- 平板显示器制造: 用于 OLED、LCD 面板生产中的薄膜沉积和刻蚀环节。
- 太阳能光伏产业: 用于太阳能电池的生产和薄膜太阳能电池的制造。
- 科学研究: 大学、研究所的粒子加速器、电子显微镜、质谱仪等大型科研设备。
- 工业应用: 真空热处理、真空镀膜(工具、装饰)、真空包装、干燥等。
- 分析仪器: 作为质谱仪、光谱仪等仪器的核心真空部件。
Adixen (艾迪生) 是一个专注于高端、洁净、干式真空技术的全球领先品牌,如果你正在寻找一个在半导体、科研或高端工业应用中,能够提供无油、高真空、高可靠性的真空泵,Adixen 绝对是首选品牌之一,其产品代表了干式真空技术的顶尖水平,虽然价格相对较高,但其性能和稳定性为高端制造提供了坚实的保障。
在选购时,可以根据您的具体应用(是需要无油环境?还是对极限真空有要求?)、抽气速率、预算以及维护需求,来选择 Adixen 旗下合适的产品系列。
