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ltps低温多晶硅技术

什么是LTPS技术?

LTPS 的全称是 Low-Temperature Polycrystalline Silicon,即 低温多晶硅

ltps低温多晶硅技术-图1
(图片来源网络,侵删)

它是一种制造薄膜晶体管的技术,TFT是液晶显示器和OLED显示器的“大脑”,负责控制每个像素点的开关,从而决定图像的显示效果。

LTPS技术的核心在于,它在相对较低的温度(通常低于600°C,传统方法需要1000°C以上)下,在玻璃基板上生长出多晶硅薄膜,并用这层薄膜来制造TFT。


LTPS的工作原理与技术特点

要理解LTPS的优势,我们需要先了解它的制造过程和特点。

工作原理(简化版)

  1. 非晶硅基底:在玻璃基板上沉积一层非晶硅,非晶硅的结构是无序的,像一堆沙子,电子在其中移动困难,导电性很差。
  2. 激光晶化:这是LTPS最关键的一步,使用准分子激光对非晶硅层进行扫描,激光的能量足以瞬间加热非晶硅,使其原子重新排列,形成有序的晶体结构,从而将“沙子”变成“整齐的砖块”(多晶硅),由于激光作用时间极短(纳秒级),玻璃基板本身还来不及被加热,所以整个过程可以在低温下完成。
  3. TFT制造:在形成的高性能多晶硅层上,通过光刻、刻蚀等半导体工艺,制造出TFT阵列,这些TFT的开关速度和稳定性远高于传统非晶硅TFT。

核心技术特点

特点 描述 带来的优势
低温工艺 整个过程在600°C以下完成。 适用基板广:可以使用成本更低的普通玻璃基板,而不是昂贵的石英基板。
与CMOS兼容:可以在同一块玻璃基板上集成驱动电路,实现“系统级封装”(System on Panel),减少外部芯片,使屏幕更薄、更轻、功耗更低。
高电子迁移率 多晶硅的晶体结构比非晶硅规整得多,电子在其中移动的“道路”更平坦、更宽阔,因此移动速度(即迁移率)非常高。 高分辨率:TFT开关速度快,可以驱动更高像素密度的屏幕(如2K, 4K),响应时间也更快。
高开口率:TFT本身可以做得更小,这意味着屏幕上用于显示图像的区域(开口率)更大,画面更亮,色彩更通透。
集成度高 由于性能优异,LTPS-TFT可以在玻璃基板上集成复杂的控制逻辑电路。 减少驱动IC:可以将部分或全部驱动电路集成到屏幕上,减少外部芯片数量,降低成本和功耗。
屏幕更薄:减少了外部元件的堆叠,使屏幕模组整体更薄。

LTPS的主要优势

综合以上特点,LTPS技术的优势非常突出:

ltps低温多晶硅技术-图2
(图片来源网络,侵删)
  1. 高分辨率与高PPI:非常适合制造智能手机、平板电脑等小尺寸、高像素密度的显示屏。
  2. 高响应速度:画面拖影现象少,动态显示效果更流畅。
  3. 低功耗:TFT驱动效率高,且集成的驱动电路减少了数据传输的功耗,这对于电池续航至关重要的移动设备是巨大优势。
  4. 高开口率:屏幕更亮,色彩表现更出色,尤其在阳光下可视性更好。
  5. 轻薄化:集成设计使得屏幕模组可以做得非常纤薄,有利于设备整体设计。

LTPS的劣势与挑战

尽管LTPS性能优异,但它也有其固有的缺点,这也是其应用范围受限的原因:

  1. 成本高昂
    • 设备投资大:准分子激光设备非常昂贵。
    • 工艺复杂:激光晶化工艺的难度和良品率控制要求很高,导致制造成本远高于a-Si。
  2. 产能有限

    由于工艺复杂和设备限制,LTPS的生产速度较慢,难以满足大尺寸面板(如大型电视)的巨大产能需求。

  3. 大尺寸面板均匀性差

    在大尺寸玻璃基板上,激光能量分布的均匀性难以保证,容易导致不同区域的TFT性能差异,影响显示效果,LTPS主要用于小尺寸面板。

  4. 有烧屏风险
    • LTPS-TFT主要被用于驱动LTPS-LCD(液晶屏),但其高迁移率特性也使其成为早期AMOLED(有源矩阵有机发光二极管)的首选驱动技术,由于LTPS在OLED像素电路的精确控制上不如LTPO(低温多晶氧化物)技术,且存在烧屏问题,在高端OLED领域逐渐被LTPO取代。

LTPS的应用领域

基于其优劣势,LTPS主要应用在对性能要求高、但对成本相对不敏感的领域:

ltps低温多晶硅技术-图3
(图片来源网络,侵删)
  • 智能手机屏幕:曾是高端手机LCD屏幕的代名词,如早期的iPhone(iPhone 4/4S/5等)就采用了LTPS-LCD屏幕。
  • 平板电脑屏幕:同样用于高端产品,以提供细腻的显示效果。
  • 数码相机、车载显示器:对分辨率和可靠性有较高要求的小尺寸显示领域。
  • 部分高端笔记本电脑屏幕

LTPS与其他技术的对比

技术类型 a-Si (非晶硅) LTPS (低温多晶硅) IGZO (金属氧化物) LTPO (低温多晶氧化物)
电子迁移率 中等
功耗 极低 可动态调节,最低
分辨率
成本 极低 中等 很高
主要应用 TV、大尺寸显示器 手机、平板LCD 手机、平板OLED 高端手机OLED (Pro机型)
集成度 中等

特别说明:LTPS vs. LTPO

LTPO(Low-Temperature Polysilicon Oxide)可以说是LTPS的“升级版”或“混合版”,它巧妙地结合了LTPS和IGZO的优点:

  • 在需要高刷新率(如120Hz)的区域使用LTPS-TFT,保证响应速度。
  • 在常亮显示(如状态栏、时钟)的区域使用IGZO-TFT,实现极低功耗。 通过这种动态切换,LTPO实现了“鱼与熊掌兼得”——既有LTPS的高性能,又有IGZO的超低功耗,完美解决了OLED屏幕的功耗问题,因此成为目前iPhone Pro等顶级旗舰手机的标配。

LTPS技术是一项里程碑式的显示技术,它在小尺寸、高分辨率显示领域统治了相当长的时间,它通过低温激光晶化工艺,实现了高性能TFT的制造,带来了高分辨率、高响应速度、低功耗和轻薄化的巨大优势。

由于其高成本、低产能大尺寸不适用的缺点,在高端OLED领域,它逐渐被更先进的LTPO技术所取代,LTPS更多地应用于高端LCD屏幕和一些专业显示领域,虽然不再是绝对的主角,但它在显示技术发展史上留下了浓墨重彩的一笔。

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